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擴散泵的工作原理,以及擴散泵的維護與保養

擴散泵是目前獲得高真空的廣泛、主要的工具之一,通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵,它需要機械泵作為前級泵。


工作原理

擴散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產生大量的油蒸氣,油蒸氣經導流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強,被抽氣體的分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進行多級壓縮,由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環工作達到真空目的。




擴散泵的維護與保養及常見問題的處理:

 

①擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通,停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。

②  擴散泵停止工作時,泵內應保持真空狀態,以免泵油劣化。

③被抽氣體應是干燥、 無腐蝕、無灰塵的氣體。

④擴散泵如暫時不用, 保管期間應保持真空狀態,以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內的剩水吹凈。保存場地的室溫應在10C~40C之間。

⑤擴散泵在正常運行時如突然出現性能變壞,應先檢查加熱器是否正常。

⑥擴散泵在長期工作后,性能會逐漸變壞,應定期檢修。

 


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